Changzhou Jiayuan Chemical: Hexafluorbutadien – Ein grüner Vorreiter in der Halbleiterätzung

Veröffentlichungsdatum: 11. Mai 2026 Quelle:
Forschungs- und Entwicklungszentrum für fluorchemische Produkte, Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd.

Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd. konzentriert sich auf den Bereich der Fluorchemie und hat eine vollständige industrielle Wertschöpfungskette von Fluorit bis hin zu hochreinem Fluorwasserstoff, Fluorwasserstoffsäure in Elektronikqualität, Trifluorchlorethylen, Octafluorcyclobutan, anorganischen Fluoridsalzen, Bor-10-Säure, Spezialgasen für die Elektronik und nachgelagerten hochwertigen fluorierten Flüssigkeiten (wie z. B. HFE449) aufgebaut und damit eine echte vertikale Integration im gesamten Markt für KI-Big-Data erreicht.

Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd. kann dank eigener Rohstoffversorgung und umfangreicher Produktionskapazitäten eine gleichbleibende Produktqualität und zuverlässige Lieferkette vom Rohstoff bis zum Endprodukt gewährleisten. Die Produkte des Unternehmens finden breite Anwendung in zukunftsweisenden Bereichen wie der Präzisionsreinigung in der Fertigung, der Wärmeableitung und Kühlung elektronischer Geräte, der neuen Energien und der Halbleiterprüfung. Das Unternehmen hat sich zum Ziel gesetzt, seinen Kunden weltweit leistungsstarke und umweltschonende Fluorchemikalienlösungen anzubieten.

Changzhou Jiayuan Chemical Co., Ltd. wird sich auch weiterhin auf die fluorchemische Industriekette konzentrieren, die technologische Weiterentwicklung und Industrialisierung grüner Fluorlösungsmittel vorantreiben und zur nachhaltigen Entwicklung der Branche beitragen.

I. Einleitung

Vor dem Hintergrund kontinuierlicher Fortschritte bei den fortschrittlichen Halbleiterfertigungsprozessen, dem elektronischen Spezialgas Hexafluorbutadien (C₄F₆)wird dank seiner hervorragenden Ätzleistung und extrem geringen Umweltbelastung zunehmend als Ersatz für herkömmliche fluorierte Ätzgase genutzt und ist daher in der Industrie von großem Interesse.

II. Wichtigste Spezifikationen

Hexafluorbutadien ist ein hochreines Produkt in Elektronikqualität mit einem Reinheitsgrad von mindestens 99,995 %. Sein Treibhauspotenzial (GWP) liegt unter 1 und bietet damit einen bemerkenswerten Umweltvorteil unter den fluorierten Spezialgasen für die Elektronikindustrie. Gemäß den Produktspezifikationen von Changzhou Jiayuan Chemical ist das Produkt in verschiedenen Verpackungsformen wie Zylindern und ISO-Tanks erhältlich und wird durch ein etabliertes Lieferkettensystem unterstützt.

III. Ausführliche Diskussion über nachgelagerte Anwendungen

Im Bereich der 3D-NAND-Flash-Speicherherstellung erfordert der Ätzprozess aufgrund der stetig steigenden Anzahl an Speicherschichten ein höheres Aspektverhältnis und ein nahezu vertikales Profil. Hexafluorbutadien ermöglicht ein nahezu vertikales, selektives Ätzen der Strukturen und erreicht in Si₃N₄-Medien ein Selektivitätsverhältnis von bis zu 30:1. Dies ist eine entscheidende Voraussetzung für die Produktion von 3D-NAND-Flash-Speichern mit geringen Stückzahlen und hoher Kapazität.

Bei der Herstellung von DRAM- und Logikchips erfüllt Hexafluorbutadien die Anforderungen an die Ätzgenauigkeit für Technologieknoten von 10 nm und darunter und ermöglicht so die genaue Replikation feiner Strukturen, ohne die darunter liegenden Materialien zu beschädigen.

Im Bereich der Displaypanels findet Hexafluorbutadien zunehmend Anwendung in Präzisionsätzverfahren für die OLED- und LCD-Produktion. Dank seiner extrem niedrigen Oberflächenspannung bietet Hexafluorbutadien zudem Potenzial für neue Anwendungsgebiete wie Antifouling-Beschichtungen und Wirkstoffträger.

IV. Markttreiber – Warum Hexafluorbutadien zunehmend an Bedeutung gewinnt

Auf der Nachfrageseite treibt das rasante Wachstum der KI-Rechenleistung den kontinuierlichen Ausbau der Produktionskapazitäten für High-End-Logikchips und hochdichte 3D-NAND-Speicher voran und steigert damit die Nachfrage nach speziellen Ätzgasen. Im Bereich der Umweltauflagen werden die globalen Ziele zur Reduzierung der CO₂-Emissionen und zur Klimaneutralität immer strenger, und herkömmliche fluorierte Ätzgase werden aufgrund ihres hohen Treibhauspotenzials (GWP) schrittweise ersetzt. Hexafluorbutadien stellt mit seinem nahezu null GWP und seiner extrem kurzen atmosphärischen Lebensdauer eine ideale umweltfreundliche Alternative dar. Hinsichtlich der Versorgungssicherheit schreitet die Lokalisierung von Hexafluorbutadien weiter voran, und die Entwicklung eines inländischen Versorgungssystems gewinnt in der Industrie zunehmend an Bedeutung.

V. Schlussfolgerung

Aufgrund seiner hervorragenden Ätzleistung und seiner ausgezeichneten Umweltverträglichkeit etabliert sich Hexafluorbutadien als unverzichtbares Spezialgas in der High-End-Fertigung. Chinesische Unternehmen wie Changzhou Jiayuan Chemical investieren kontinuierlich in Produktqualität und Industrialisierung und bieten ihren Kunden stabile und zuverlässige Materiallösungen. Changzhou Jiayuan Chemical liefert seit Langem hochreines Hexafluorbutadien sowie eine breite Palette hochwertiger Fluorchemikalien. Für weitere Informationen und ein unverbindliches Beratungsgespräch kontaktieren Sie uns bitte.