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0102030405
Stickstofftrifluorid
Produktname: Stickstofftrifluorid
Abkürzung Abkürzung: Nf3
Synonyme: N,N,N-Trifluoramin; Nf₃; Stickstofffluorid (Nf₃); Perfluorammoniak; Stickstoff(III)-Fluorid; Stickstofftrifluorid; Trifluoramin
CAS: 773-54-2 _
Molekularformel Chemische Formel: F3N
Molekulargewicht: 71
Einecs: 232-007-1
Strukturformel: 
KURZBESCHREIBUNG
Stickstofftrifluorid (NF₃) ist ein farbloses, geruchloses, stabiles Gas und ein starkes Oxidationsmittel. Der Schmelzpunkt von Stickstofftrifluorid liegt bei -206,8 °C, der Siedepunkt bei -129,0 °C, und es ist in Wasser unlöslich.
TECHNISCHE INDIKATOREN
Analyse | Erfordernis |
Außenbereich | farbloses Gas |
Reinheit% | 99,996 |
Kohlenstofftetrafluorid (CF4) | 20 |
Wasser (H2O) | 1 |
Zweck (VERWENDUNG)
Stickstofftrifluorid dient als Fluorquelle für hochenergetische chemische Lasergase und als Ätzmittel für Halbleitermaterialien wie Polysilizium, Siliziumnitrid und Wolframsilizid. Es wird außerdem als Reinigungsmittel für CVD-Kammern und LCD-Panels in der Halbleiterchip-Produktion eingesetzt. Stickstofftrifluorid wird als Reinigungsmittel für CVD-Anlagen verwendet. Im Vergleich zu Perfluorkohlenwasserstoffen reduziert es die Schadstoffemissionen um etwa 90 % und erhöht die Reinigungsgeschwindigkeit und -wirkung deutlich.
Verpackungs-/Lagerbedingungen (LAGERBEDINGUNGEN)
Stickstofftrifluorid wird in nahtlose Stahlzylinder mit Volumina von 8 l, 40 l, 43,3 l bzw. 47 l abgefüllt. Die spezifischen Verpackungsvorgaben können an die Bedürfnisse des Anwenders angepasst werden.
CHEMISCHE EIGENSCHAFTEN
1. Stickstofftrifluorid ist ein stark ätzendes Gas, das schädlich für Haut, Augen und Atemwege ist.
2. Es handelt sich um eine stabile Verbindung, die nicht leicht zu entzünden oder zu explodieren ist.
3. Bei normaler Temperatur ist Stickstofftrifluorid farb- und geruchlos, kann aber bei höheren Temperaturen lavendelfarben erscheinen.
4. Es ist in Wasser löslich und reagiert mit einigen Metallen (wie z. B. Aluminium) unter Bildung von Fluorid.
5. Stickstofftrifluorid ist dichter und schwerer als Luft und sammelt sich leicht an tiefer gelegenen Stellen an.
Sicherheitshinweise:
1. Stickstofftrifluorid ist gesundheitsschädlich. Hautkontakt und das Einatmen seiner Dämpfe können zu Verätzungen und anderen Gesundheitsproblemen führen.
2. Tragen Sie beim Umgang mit Stickstofftrifluorid geeignete Schutzausrüstung, wie z. B. Atemschutzmasken, Chemikalienschutzbrillen und Schutzkleidung.
3. Es ist ein starkes Oxidationsmittel und kann heftig mit brennbaren Stoffen reagieren, daher muss es von brennbaren Stoffen ferngehalten werden.
4. Bei der Lagerung, Handhabung und dem Transport von Stickstofftrifluorid sind die entsprechenden Sicherheitsvorschriften zu beachten.
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