Octafluorpropan

Produktname: Octafluorpropan
Chemische Formel: C₃F₈
Synonym: Perfluorpropan
CAS: 76-19-7
HS-Code: 29033990
Molekulargewicht: 188.02
Einecs: 200-941-9
Strukturformel:

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Produktdetails

KURZBESCHREIBUNG

Octafluorpropan ist ein vollständig fluoriertes Propan. Bei Raumtemperatur ist es ein farbloses, geruchloses und nicht brennbares Gas mit extrem hoher chemischer Stabilität. Es wird hauptsächlich zum Ätzen von Halbleitern, als medizinisches Augengas und zur Hochspannungsisolierung eingesetzt.

TECHNISCHE INDIKATOREN

Artikel	Ergebnis
Aussehen	Farbloses Gas
Dichte	Relative Dichte (Luft=1) 6,6
Dampfdruck	792 kPa (21,1 °C)
Reinheit (%)	≥99,99 % (elektronische Qualität)

ANWENDUNGEN

1. Halbleiterindustrie (Plasmaätzen): Octafluorpropan, gemischt mit Sauerstoff, wird in dielektrischen Ätzprozessen, insbesondere beim Ätzen von Oxiden (z. B. SiO₂), eingesetzt. Es ermöglicht höhere Ätzraten und eine bessere Selektivität als Perfluorethan. Typische Anwendung: Ätzen von Kontaktlöchern mit hohem Aspektverhältnis in der 3D-NAND-Flash-Fertigung.

2. Ophthalmologische Anwendung (Glaskörpertamponadegas): Wird als Tamponadegas nach Vitrektomie eingesetzt. Seine Expansionseigenschaften und die geringe Wasserlöslichkeit gewährleisten eine langfristige Unterstützung der Netzhaut und fördern die Wiederanlegung. Es wird häufig zur Behandlung komplexer Netzhautablösungen verwendet.

3. Elektrische Hochspannungsisolierung: Aufgrund seiner hohen Durchschlagsfestigkeit und seines relativ niedrigen Treibhauspotenzials wird es in gasisolierten Mittelspannungsschaltanlagen (GIS) als Alternative zu Schwefelhexafluorid eingesetzt.

4. Tieftemperaturkühlung: Wird als Tieftemperatur-Kältemittel in Kryokreisläufen zur Kühlung supraleitender Magnete und in medizinischen Magnetresonanztomographie-Systemen (MRI) eingesetzt.

LAGERBEDINGUNGEN

1. Kühl und gut belüftet lagern; die Lagertemperatur sollte 37 °C nicht überschreiten.

2. Behälter dicht verschlossen halten. Getrennt von Oxidationsmitteln und brennbaren Materialien lagern – nicht mischen.

3. Stahlzylinder sollten vor Licht, Feuchtigkeit und direkter Sonneneinstrahlung geschützt gelagert werden; das Lager muss mit einem Blitzschutz ausgestattet sein.

4. Lüftungssysteme sollten mit einer Erdung gegen statische Elektrizität ausgestattet sein.

5. Der Lagerbereich sollte mit Auffangwannen und geeigneten Sammelmaterialien ausgestattet sein.

PAKET

1. Stahlzylinder mit aufgesetzten Sicherheitskappen.

2. Andere Verpackungsformen sind auf Anfrage erhältlich.

CHEMISCHE EIGENSCHAFTEN

Extrem stabil bei Raumtemperatur; reagiert nicht mit starken Säuren, starken Basen oder Oxidationsmitteln. Bei hohen Temperaturen (>300 °C) kann es sich in Gegenwart offener Flammen unter Freisetzung von Fluorwasserstoff zersetzen. Kritische Temperatur: 71,9 °C, kritischer Druck: 2,68 MPa, Siedepunkt: –36,7 °C, schwer löslich in Wasser. Nicht entzündlich; als Inertgas ist der Kontakt mit Ölen und Fetten unter hohem Druck zu vermeiden.