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XENONDIFLURID ( F2Xe )
Produktname: XENONDIFLORID
Abkürzung: F2Xe
Synonyme: Xenondifluorid 99%; Xenondifluorid 99,5+%; Difluorxenon (ii);
CAS: 13709-36-9
Molekularformel: F2Xe
Molekulargewicht: 169,29
Einecs: 237-251-2
Gefahrguttransportnummer: UN 3087 5.1/PG 2
Strukturformel: 
KURZBESCHREIBUNG
Xenondifluorid (XeF₂) ist ein farbloser Feststoff, der bei Raumtemperatur leicht sublimiert und transparente Kristalle bildet. In neutralen und alkalischen Lösungen zersetzt sich Xenondifluorid, in sauren Lösungen ist es relativ stabil. Die wässrige Lösung hat einen stechenden Geruch. Xenondifluoriddampf ist farblos und geruchlos. In der Elektronikindustrie wird XeF₂ häufig als Ätzgas für Silizium eingesetzt. Da die chemische Reaktion zwischen XeF₂ und Silizium spontan verläuft, weist XeF₂ eine sehr hohe Selektivität für den Ätzprozess von Silizium auf. Beim Ätzen von Silizium mit XeF₂ diffundiert das XeF₂-Gas frei zur Oberfläche des Siliziumsubstrats und reagiert chemisch mit den äußeren Siliziumatomen. Dabei entstehen gasförmiges Xenon (Xe) und gasförmiges Siliciumfluorid (SiF₄), wodurch das Silizium korrodiert wird.
TECHNISCHE INDIKATOREN
Analyse | Erfordernis |
Aussehen | weißer kristalliner Feststoff |
Reinheit (Gew.-%) | 99,99 |
Siedepunkt 101,3 kPa (℃) | 114,35 °C (Schätzung) |
Schmelzpunkt (℃) | 129 °C (Lit.) |
Dichte25℃( g/mL ) | 4,32 g/ml bei 25 °C (Lit.) |
Zweck (VERWENDUNG)
LAGERBEDINGUNGEN
PAKET
CHEMISCHE EIGENSCHAFTEN
Beschreibung2