六氟丁二烯-1,3(HFBD)/CAS:685-63-2
产品名称： 六氟-1,3-丁二烯
缩写： HFBD
同义词： 六氟丁-1,3-二烯；六氟-1,3-丁二烯；1,1,2,3,4,4-六氟-1,3-丁二烯；1,1,2,3,4,4-六氟-丁-1,3-二烯；1,1,2,3,4,4-六氟丁-1,3-二烯
CAS： 685-63-2
分子式： C4F6
分子量： C4F6
Einecs： 211-681-0
危险品运输编号： 联合国3161
结构式：
简要描述
六氟丁二烯，又称全氟丁二烯，最初是作为聚合物单体合成的，但其聚合物性能较差，因此未得到进一步研究和应用。近年来，六氟丁二烯的应用研究主要集中在其作为电子刻蚀气体的用途上。
技术指标
| 分析 | 要求 |
| 纯度（重量百分比） | 99.995分钟 |
| 每百万 | 20 |
| 每百万 | 2.5 |
| 760 mmHg | 18.6±35.0 °C |
| 熔点（℃） | -132℃ |
| 克/立方厘米 | 1.4±0.1 |
| 闪点（℃） | -17.2±17.9 °C |
使用
全氟丁二烯是一种无色、无味、无毒的气体，具有以下用途：
1. 涂料：由于其表面张力低、化学稳定性好，全氟丁二烯被广泛用于涂料中，以提供防水、耐腐蚀和耐化学腐蚀性能。
2. 电子材料：全氟丁二烯可用于制备光电材料、电容器、润滑剂等。
3. 药物输送系统：全氟丁二烯可用作药物载体，通过控制释放速率来提高药物吸收效率。
储存条件
1.避免直接接触：全氟丁二烯可能引起皮肤和眼睛刺激，应避免直接接触。
2. 良好的通风：使用全氟丁二烯时，要确保良好的通风，避免吸入大量气体。
3.避免燃烧：全氟丁二烯是易燃气体，避免接触明火或高温。
4. 储存注意事项：全氟丁二烯应储存在阴凉、干燥、通风良好的地方。
包裹
1. 以钢瓶包装（每瓶1吨）。
2. 采用 ISOTANK 包装。
化学性质
六氟-1,3-丁二烯（代号C4F6）是一种新型含氟绿色电子刻蚀气体。它具有刻蚀速率快、纵横比高、选择性高等优点，可实现近乎垂直的刻蚀工艺，为制造小体积、大容量3D NAND闪存提供了可能；同时，六氟丁二烯环境友好，全球变暖潜能值（GWP）远小于1，大气寿命长达1.1天。它是目前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气体之一。
描述2