三氟化氮
产品名称： 三氟化氮
缩写 缩写： Nf3
同义词： N,N,N-三氟胺；Nf3；氟化氮(Nf3)；全氟氨；氟化物(III)；三氟化物；三氟胺
CAS： 773-54-2 _
分子式 化学式： F3N
分子量： 71
Einecs： 232-007-1
结构式： 
简要描述
三氟化氮（NF3）是一种无色、无味、稳定的气体，也是一种强氧化剂。三氟化氮的熔点为-206.8℃，沸点为-129.0℃，不溶于水。
技术指标
分析 | 要求 |
外部的 | 无色气体 |
纯度％ | 99.996 |
四氟化碳（CF4） | 20 |
水（H2O） | 1 |
用途
三氟化氮可用作高能化学激光气体的氟源，也可用作多晶硅、氮化硅和硅化钨等半导体材料的蚀刻剂。它还可用作半导体芯片生产中化学气相沉积（CVD）腔室和液晶面板的清洗剂。三氟化氮用作CVD腔室清洗剂。与全氟碳化合物相比，它可以减少约90%的污染物排放，并显著提高清洗速度和清洗能力。
包装/储存条件（储存条件）
三氟化氮分别装在容积为 8 升、40 升、43.3 升和 47 升的无缝钢瓶中。具体的包装规格可根据用户需求进行定制和更改。
化学性质
1.三氟化氮是一种强腐蚀性气体，对皮肤、眼睛和呼吸道有害。
2. 它是一种稳定的化合物，不易燃烧或爆炸。
3. 在常温下，三氟化氮是无色无味的，但在较高温度下可能会呈现淡紫色。
4. 它溶于水，并能与某些金属（如铝）反应生成氟化物。
5. 三氟化氮比空气密度大、重量重，容易在低洼处积聚。
安全信息：
1. 三氟化氮对人体有害。接触皮肤和吸入其蒸气会导致化学灼伤和其他健康问题。
2. 使用三氟化氮时，应佩戴合适的防护装备，如呼吸器、化学护目镜和防护服。
3. 它是一种强氧化性气体，能与易燃物质发生剧烈反应，因此需要远离易燃物。
4. 储存、处理和运输三氟化氮时，必须遵守相关的安全规定。
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