八氟丙烷
简要描述
八氟丙烷是完全氟化的丙烷。在室温下,它是一种无色、无味、不可燃的气体,具有极高的化学稳定性。它主要用于半导体刻蚀、医用眼科气体和高压绝缘。
技术指标
| 项目 | 结果 |
| 外貌 | 无色气体 |
| 密度 | 相对密度(空气=1)6.6 |
| 蒸汽压 | 792 千帕 (21.1°C) |
| 纯度(%) | ≥99.99%(电子级) |
应用程序
1.半导体行业(等离子刻蚀):八氟丙烷与氧气混合用于介质刻蚀工艺,特别是氧化物刻蚀(例如SiO₂)。与全氟乙烷相比,它具有更高的刻蚀速率和选择性。典型应用:3D NAND闪存制造中的高深宽比接触孔刻蚀。
2.眼科医疗用途(玻璃体填充气体):用作玻璃体切除术后的填充气体。其膨胀特性和低水溶性可提供长期的视网膜支撑并促进视网膜复位,常用于治疗复杂性视网膜脱离。
3.高压电气绝缘:由于其介电强度高且全球变暖潜能值相对较低,因此在中压气体绝缘开关设备(GIS)中用作六氟化硫的替代品。
4.低温制冷:用作超导磁体冷却和医用磁共振成像(MRI)系统的低温回路中的低温制冷剂。
储存条件
1.请存放在阴凉通风处;储存温度不应超过37°C。
2.保持容器密封。与氧化剂和易燃物分开存放——切勿混合存放。
3.钢瓶应避光、防潮、防阳光直射存放;仓库必须配备防雷设施。
4.通风系统应配备静电接地装置。
5.储存区域应配备泄漏控制设施和适当的收集材料。
包裹
1.装有安全帽的钢制气瓶。
2.其他包装形式可根据要求提供。
化学性质
室温下极其稳定;不与强酸、强碱或氧化剂反应。高温(>300°C)下,遇明火可能分解并释放氟化氢。临界温度:71.9°C,临界压力:2.68 MPa,沸点:-36.7°C,微溶于水。不可燃;作为惰性气体,应避免在高压下与油类和油脂接触。
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